增强化学支持全部光刻解决方案

杜邦的根基深植于其经过生产检验的辅助光刻产品系列。从有机和无机显影剂到全套的去除剂、剥离剂、边珠溶剂和清洁产品,我们的配方经得起时间的考验,并为客户提供跨越光刻工艺光谱的完整解决方案。

杜邦的全球制造和支持足迹使这些低成本解决方案很容易达到。

  • 我们的开发人员旨在采用特定于应用的应用程序,并根据客户的金属离子轴承,有机和金属无机无机开发商进行顾客的偏好,包括:

    • TMAH为基础
    • 非TMAH.
    • Surfactant-aided
    • 钠基
    • 低泡沫
    • KoH-based
    • 预混配方提供易用性并增加安全益处
    • 还可以节省成本的集中表格
  • 经过过滤和处理,以确保最高纯度的溶剂,我们的去除剂和剥离剂在光刻胶沉积之前创建干净的线条。这将导致低缺陷,即使在先进的技术节点。

    • 散装去除剂可用于浸泡或批量喷雾
    • 蚀刻后残留去除剂可用于浸渍、批量喷涂或单片加工

    杜邦公司提供一整套配套化学产品,作为我们光刻胶的配套产品,覆盖不同加工条件下的多个方面。这些包括:

    • 基于氟的蚀刻后残留物去除剂
    • FSC-M保护晶片涂层,用于改进带后处理
    • 没有CMP的沟槽金属化的专有剥离层工艺
    • 用于RRC或线清洁的Hypersol™系列

光刻材料和服务