杜邦是全球领先的化学机械平化(CMP)抛光垫、抛光浆和应用专业技术,服务于半导体芯片制造行业和其他先进的基片抛光应用。凭借数十年的经验,杜邦提供了全系列的抛光垫和泥浆,旨在满足每个CMP应用和节点的不同性能需求。每个产品都包含特定的设计目标和基础科学,以实现所需的性能。我们先进的研发能力,包括统计过程控制、自动化、产品表征和分析,已经在材料创新方面取得了重大进展。
随着应用程序的应用设施,我们已经能够与客户开发关键合作,以加速产品和流程开发,包括低于14纳米的CMP流程和3D-IC技术的平面化材料。我们的战略联盟和合作将以加速的步伐为客户带来新的CMP技术,同时提供最适合每个客户的特定流程要求的可用材料。
我们的CMP平台覆盖了广泛的应用和技术节点。为了帮助理解哪些技术非常适合不同的CMP应用,请参阅下面的图表。
铜散装抛光 |
ikonic™3040m,4121h,4250h Visionpad™6000,7480,9280 IC1000™ |
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铜屏障抛光 |
ikonic™2010h,2020h,2040h,2060h Visionpad™3100,3500 OptiVision™Pro 9500 |
钨抛光 |
ikonic™4250h,4121h,4141h VisionPad™5000. IC1000™ |
STI /Ceria抛光应用 |
ikonic™4121h,4140h,4250h VisionPad™5000,6000 IC1000™ |
氧化物抛光 |
Visionpad™5000,6000,7480 IC1000™ |
浅黄色抛光 |
ikonic™2010h,2020h,2040h,2060h OptiVision™4540,4548 OptiVision™Pro 9500 Politex™,Politex™ IC1000™ |
我们的CMP平台覆盖了广泛的应用和技术节点。进一步探索杜邦CMP垫,见我们的申请产品系列概述。