半导体制造和封装材料

双镶嵌铜

用于高级半导体节点的双层镶嵌产品

杜邦电子和成像是半导体制造业双镶嵌铜材料的领先供应商

10多年来,领先的半导体制造商一直依赖于杜邦电子与成像双大马士革产品,实现20纳米以下的半导体技术节点。在大批量生产中,我们的化学产品可以实现无空洞的自下而上填充,没有覆盖层。我们的秘密是什么?

  • 三组件材料包括加速器,抑制器和矫直器,以控制填充过程
  • 低掺杂铜防止应力和电迁移
  • 配方满足20-45纳米和<20nm的要求

选择DuPont作为您的材料解决方案合作伙伴:

  • 获得完整的解决方案,不仅仅是材料。
  • 从电子和成像中挖掘多年的专业知识和技术
  • 受益于领先于行业趋势的发展
  • 双大马士革铜是一种金属化材料,用于支持双大马士革图纹工艺,双大马士革图纹工艺是半导体晶圆工艺中常用的技术,用于在芯片上的晶体管之间创建电路。在晶圆上沉积一种电介质以形成电路图案后,用双大马士革铜填充沟槽并形成互连。

  • 随着半导体行业继续缩小技术节点,依据摩尔定律,它依赖于双层镶嵌铜,以满足紧密要求,以符合电路中的更精细的特征尺寸。今天的双层镶嵌铜材料需要:

    • 展示最佳的填充性能
    • 消除覆盖层的潜力
    • 实现无效填充
    • 防止压力和电迁移