推特
LinkedIn
电子邮件抗反射剂和功能性子层
解决先进光刻技术的挑战
杜邦的抗反射涂层和功能亚层产品包括底部抗反射涂层(barc)、硅抗反射涂层(siarc)和自旋碳基抗反射涂层(soc)。它们旨在解决当今先进技术节点和3D结构的关键尺寸所带来的先进光刻挑战，提高吞吐量，并使分辨率提高到20nm线距。
- 什么是抗反射剂和功能性子层？
反光涂层和子层 - Barcs和纱线和SoC - 用于通过加宽和改善过程和反射率窗口来提高光刻的有效性：
- Barcs在曝光步骤中减少反射光，从而提高了抗蚀剂的反射率控制。它们还可以防止由湿法造成的衬底损伤。
- 纱线材料在抗蚀剂下起作用，以控制光学成像，同时也用作管理蚀刻图案的蚀刻屏障。
- SoC充当平面化材料。它们创建了一个有助于控制蚀刻性能的高碳层。