SIEMENS过程的密封件

高性能密封件用于多晶硅工艺设备

挑战

为了满足在太阳能电池中不断增长的需求，Siemens *方法用于通过热分解三氯 - 硅烷（TCS）产生高度纯化的多晶硅。采用的反应器需要在以下位置需要三种高性能密封件：a）钟罐密封;b）电极和陶瓷入口之间的电极密封;c）用于视图端口密封的垫圈（参见原理图）。

解决方案

该过程涉及一个非常热，干燥的环境，温度高达1200^°C.密封组件最多可看到300^°C.过程介质包括TCS和其分解的侵蚀性副产物，例如HCl气体。有效密封和延伸密封寿命需要高卓越的压缩性能。非常低的放气概是防止过程环境污染的关键要求。

在高温条件下存在苛刻的化学物质通常需要从标准密封材料升级到PTFE或含氟弹性体（FKM）以改善热稳定性和耐化学性。然而，PTFE可以在钟罐密封中变形和蠕动“热流”，提高产品损失的风险。FKM，其高温额定值为200^°C，这300年也有缺陷^°C环境。

关键优势

卡雷斯^®PV8070全氟弹性体零件作为西门子CVD工艺反应器中的垫圈和垫圈安装的伴随在这苛刻的应用中表现出出色的性能。卡雷斯^®PV8070零件是提供的有效密封件：

• 耐持续服务温度高达325^°C以及处理短期游览到更高温度的能力。
• 卓越的压缩设定性能，以保持有效的密封随着时间的推移。
• 对西门子CVD工艺中使用的腐蚀性介质的抵抗力。
• 极小的放气，从而最小化过程污染的可能性。

*对于近五十年来存在的多晶硅生产的非专有过程