Kalrez®部件减少晶圆污染

Kalrez^®FFKM密封件有助于最小化晶圆片工艺污染

全氟弹性体(ffkm)由于其对化学物质(包括反应等离子体和高达327°C的高温)的非凡抗腐蚀性，被用于晶圆加工设备上的密封。FFKM的性能取决于化学成分。特殊配方Kalrez^®可能需要产品来帮助减少晶圆污染。

体重减轻/粒子产生

制造商发现等离子体是蚀刻、化学气相沉积和剥离的强大工具，因为所有的材料都是消耗的。在这些过程中使用了FFKM密封，因为它们具有特殊的抗腐蚀性介质。长时间暴露在等离子体中会破坏密封表面，导致颗粒污染，甚至在密封功能丧失之前。理想的密封，因此，将抵抗表面退化，同时保持密封功能。FFKM密封设计能够承受化学腐蚀，延长密封寿命。他们表现出低重量损失和颗粒产生，从而提高晶圆成品率，提高工艺可靠性和减少设备维护频率。见四种FFKM化合物在等离子体中的相对粒子生成。

脱气/密封功能

高温和温度峰值会“烹煮”弹性密封件，使其变得又硬又脆。当这种情况发生时，它们的交联结构，即弹性的关键，将不可逆转地破坏，使有效的密封不可能。弹性体在高温下也会降解，导致气体逸出，从而污染工艺环境。像氧化和扩散这样的热过程需要密封件，它不仅能抵抗加工过程中的化学物质，还能抵抗所需的极端温度。密封材料可靠的使用温度额定值最好由密封力保持的长期(672小时)测试确定。从室温到400°C，典型的FFKM化合物的排气性能极低。