AR™137有机底部防反射涂层

应收账™ 137是一种用于浸入式光刻的有机底部抗反射涂层（oBARC）。它的设计目的是为超数值孔径（NA）浸没曝光提供优良的光学参数，以最小化通过角度的反射。应收账™ 137的快速蚀刻速率通过减少蚀刻过程中的抗蚀剂损耗来改善图案转移。

特征

• 超钠暴露的最佳n&k值
• 腐蚀率高
• 与抗蚀剂相容性好
• 优良的涂层性能
• 良好的EBR/RRC溶剂相容性
  

利益

• 改善临界尺寸均匀性(CDU)
• 提高光刻工艺的利润率
• 提高蚀刻工艺裕度