应收账™ 201有机间隙填充材料

应收账™ 201是一种有机间隙填充材料。它可以填充极窄的沟槽而无空隙，为具有FinFET结构的先进器件提供了一个极好的解决方案。应收账™ 201还可以用作抗反射剂，并降低KrF和ArF工艺的反射率。

特征

• 超数值孔径（NA）曝光的最佳n&k值
• 腐蚀率高
• 与抗蚀剂相容性好
• 优异的涂层性能
• 良好的EBR/RRC溶剂相容性

利益

• 提高临界尺寸均匀性（CDU）
• 提高光刻工艺的利润率
• 提高蚀刻工艺余量

图1:高宽高比下的空隙填充

图2:出色的间隙填充和平面化