光阻

ARF干致残

概述

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Dupont的正色调ARF（193nm）干燥光致抗蚀剂已经针对沟槽和线路和空间（L / S）应用通过间距进行了优化。

特征

好处

1A：90 nm l / 90 nm s

90nm ISO L

图1：170 nm在AR™26N / AR™上4124快速蚀刻，0.93NA，ANN。S：0.72 / 0.49，PSM掩模，SB / PEB = 125°C / 110°C，PS = 27.4MJ

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