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电子邮件ArF浸没接触孔电阻
杜邦公司的正向色193 nm浸没电阻具有极好的工艺窗口、临界尺寸(CD)均匀性和低缺陷。它们还可以降低工艺成本，因为不需要使用面漆。
特性
- 65 nm / 120 nm间距密集接触孔
- 65 nm / 180 nm间距半密接触孔
- 65 nm ISO接触孔
好处
- 优秀的景深保证金
- 优秀的CD均匀性
- 低defectivity
- Topcoat-free过程
- 优秀的轮廓形状
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65海里DOM(66海里/ 120 p) |
65海里DOM(66海里/ 180 p) |
65海里DOM(70海里/ 500 p) |
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图1:120 nm on AR™26N/AR™4124 Fast Etch, 1.3NA, Ann 0.95/0.6，二进制掩模，SB/PEB=90°C/85°C