用于半添加剂IC基板应用的先进化学铜工艺,具有离子催化剂和高抛功率酒石酸盐基化学铜,设计用于粘附低Ra绝缘体。
随着IC封装基板向更精细的特性发展,半加性加工(SAP)变得更加重要,要求整个面板具有均匀的厚度和可重复的蚀刻特性。高抛程化学镀铜系统使用户能够可靠地覆盖微孔,同时最小化表面铜沉积,从而提高蚀刻能力。杜邦的Circuposit ADV 8500化学镀铜工艺已经开发出来,以满足这些需求。
杜邦公司的Circuposit ADV 8500化学铜工艺的主要特点:
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集成电路封装应用的下一代金属化技术
在各种除漆条件下均有良好的抛涂能力。化学铜厚度~ 0.3µm。
在低Ra绝缘体材料上附着稳定