EKC®专业的去除剂和清洁化学物质

脱衣舞娘和冲洗

剥离者(光致抗蚀剂去除剂)

Dupont提供了专门配制的有机材料,以通过我们的EKC技术组合从基材表面上除去正和负光致抗蚀剂。

专业的去除剂和清洁化学物质

  • EKC®剥离者和冲洗液

    EKC®剥离者和冲洗液

    剥离器除去光刻过程中使用的光致抗蚀剂

    具体配制的有机材料以从基材表面除去正和负光致抗蚀剂

    能够去除正面和负色调的光致抗蚀剂以及等离子体硬化残留物,并且与形成LED接触所需的各种金属相容。

    优化的配方以通过焊料电镀或模版印刷有效地除去用于TSV面罩和晶片撞击的厚和薄抗蚀剂。
  • 蚀刻后残留物去除剂

    蚀刻后残留物去除剂

    配制的水性和半水性有机混合物,以在通过聚合物和金属蚀刻工艺之后有效地除去基材表面的残基。

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    蚀刻后残留物残余物是配制的水性和半水性有机混合物,以在通过聚合物和金属蚀刻工艺之后有效地除去基材表面的残留物。

    杜邦的蚀刻后残留物用于铜(CU)应用包括Cusolve™铜集成技术和SAC™半含水化学除渣。
  • 后CMP清洁剂

    后CMP清洁剂

    用于后CMP清洁的水性制剂旨在保护平面化金属和介质防止金属腐蚀,同时提供平滑的缺陷晶片表面。

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