电子解决方案
CMP垫
杜邦的Suba™垫是化学机械平化(CMP)垫,用于库存、中间和最终抛光。它们在抛光半导体晶圆、玻璃和陶瓷方面具有显著的优势,可获得一致的、可重复的结果。Suba™系列抛光垫产品是去除硅渣抛光的行业标准。它们也可以用作子衬垫。
好处:
高去除率硅料抛光垫
应用程序:
我们的CMP平台覆盖了广泛的应用和技术节点。进一步探索杜邦CMP垫,见我们的产品系列的应用概述。
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