VisionPad™3000系列抛光垫旨在实现缺陷水平Politex™Pad垫平面化能力IC1000™Pad在铜屏障过程中。VisionPad™3000系列具有比IC1000™垫更柔软的表面，用于改善缺陷性能，同时保持高刚度以提供优异的平坦化。

好处:

• 与IC1000™相比提高了缺陷
• 与软垫相比改进了平坦化

应用程序：

• 铜屏障

VisionPad™5000系列设计用于氧化物和钨应用。VisionPad™5000系列垫具有可预测的垫到垫性能，可在整个过程中提供稳定的操作，并与IC1000™垫相比，展示类似或增加的垫寿命。

好处:

• 与IC1000™相比改进了平面化
• 由于低速率，较长的垫寿命

用途：

• 钨、STI /二氧化铈、氧化
  

VisionPad™6000系列抛光垫设计成显着提高缺陷和剥离性能，以及与IC1000™相比扩展焊盘寿命。

好处:

• 失步defectivity性能
• 由于低切率，长垫寿命

应用程序：

• 铜散装，STI / CERIA，氧化物

与IC1000™相比，VisionPad™7000系列抛光垫设计成显着提高寿命。

好处:

• 由于低切率，长垫寿命

应用程序：

• 铜块，STI/二氧化铈，氧化物，钨

VisionPad™9000系列抛光垫设计用于降低缺陷和凹陷以及与IC1000™相比扩展焊盘寿命。

好处:

• 改善defectivity性能
• 改善凹陷性能
• 由于低切率，长垫寿命

应用程序：

• 铜散装，STI / CERIA，氧化物