等离子体过程
用于等离子体工艺的高耐久性密封材料，降低设备维护成本
Dupont™Kalrez®密封件在半导体芯片制造的密集等离子体条件下比其他材料更好。
PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和干蚀刻期间的强化清洁和等离子体过程需要鲁棒密封。Kalrez®密封件可承受等离子体处理的严谨，以密封污染并延长预防性维护周期之间的间隔。
典型的应用包括：
•门密封圈
•门阀门
•摆阀
•腔室盖密封件
•排气阀门
•气体入口/出口/混合块密封
•窗口密封件
•中心戒指
•晶圆支持和运输
•平板显示器支持和运输
Kalrez®福利
Kalrez®材料非常适合半导体制造，因为它们提供：
•恶劣等离子体环境中的低侵蚀率和超低粒子生成
•对臭氧，氨，水蒸气和等离子体的优异抗性
•专门为等离子体环境是离子（物理）和自由基组合（化学物质）的方法设计的制剂
