微电子学

使当今最流行和先进的技术的高需求生产成为可能。

来自杜邦的多技术使超纯水的可靠供应,最小的液体排放,最大限度地回收废化学品

在微电子市场上,水是制造半导体、平板显示器、光伏等器件的关键原材料。超纯水(UPW)是用于冲洗生产过程中残留物的主要清洁溶剂。今天的集成电路是如此复杂,甚至最小的污染物都能阻止电路正常工作。同时,更严格的排放标准和可持续发展的理念,也促使终端用户对更多的废水和化学品进行回收,以达到最小的液体排放,甚至是零液体排放。

多年来,杜邦水解决方案一直在满足全球亚搏国际网页终端用户、原始设备制造商(oem)和服务公司的需求。我们的经验和一系列解决方案使我们成为超纯水生产的完美合作伙伴,在微电子处理,废水回用,废化学品回收,并通过尖端超滤(UF),膜生物反应器(MBR),脱气化膜,反渗透(RO)和离子交换树脂(IER)技术。

全面解决方案,满足您的需求

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预处理
主回路去矿化作用
抛光循环
回收循环

保护整个净化线

在初级生产线之前去除硬度或大颗粒,如悬浮固体和胶体,是保证下游脱矿处理最佳性能的关键步骤。

与超滤预处理

与多媒体滤波器(MMF)相比,杜邦公司超滤(UF)技术在去除悬浮固体、胶体和藻类方面表现出色,可以更好地保护下游RO系统,提高稳定性和生产率。现在,随着杜邦™IntegraFlux™、inge®和MEMCOR®技术能力的增强,杜邦拥有最广泛的UF产品,从内到外,从PES到PVDF,从压力UF到淹没UF。根据给水水质和客户需求,杜邦可以提供最合适的高稳定性、低能耗、低化学消耗的UF产品。

用离子交换树脂软化

杜邦的软化离子交换树脂(IER)消除硬度痕迹,保护和提高反渗透装置的回收率。杜邦公司有强酸性阳离子交换树脂和弱酸性阳离子交换树脂,可用于软化。

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去除溶解的杂质,达到超纯水水质

自20世纪90年代以来,离子交换树脂(IER)脱矿技术在半导体工厂中已经非常普遍。杜邦公司选择并开发了一系列特殊的ier,可在反渗透(RO)装置前立即提供高质量的水。

杜邦Ligasep™脱气膜能有效去除CO2从水。与传统脱气塔相比,杜邦Ligasep™具有更高的去除率、更小的占地面积和更高的清洁度。

杜邦FilmTec™是薄膜复合反渗透技术的发明者,这是现代反渗透技术的核心。FilmTec™RO以其一贯的高质量和稳健的投资组合而闻名,这为整个生命周期创造了更低的成本。杜邦公司开发了定制的半导体级RO (SG),具有较高的低分子有机物截除率和加速总有机碳(TOC)冲洗。

FilmTec™ECO系列RO元件具有领先的性能和较低的能耗。FilmTec™Fortilife™CR100反渗透元件具有领先的污垢阻力和可靠的性能,在给水下具有更高的污垢潜力。

反渗透装置完成后,混合床脱矿立即产生超纯水质量。杜邦AmberTec™UP树脂效率和高性能评级已被半导体行业认可超过25年。

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消除痕量污染物最高的超纯水质量

微电子的制造工艺对UPW质量有严格的要求,包括电阻率、金属、TOC、硼、溶解氧、粒子等。

最后抛光混合床树脂

为了达到更高的电阻率、金属和TOC要求,选择合适的最终抛光混合床树脂非常重要。杜邦AmberTec™最终抛光混合床(MB)树脂因其稳定可靠的性能而得到广泛认可。一般来说,根据不同行业的UPW质量和实践要求,可以使用杜邦的以下最终抛光MB树脂:

硼选择性树脂AmberTec™

当原料水中硼浓度较高或生产工艺对硼有严格要求时,需要使用除硼树脂。杜邦公司研发了定制半导体级硼选择性树脂AmberTec™UP7530TOC低,工作能力强,粒度均匀,可用于超细抛光回路。

脱气膜

在超超临界水除氧中,脱气膜被广泛应用。独特的皮肤半致密和真正的气体渗透膜杜邦Ligasep™脱气模块简化系统设计,实现更好的性能。

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最大化废水的价值

微电子工业消耗大量的水。为了节约用水和实现可持续的业务发展,该行业一直热衷于回收各种制造过程产生的废水。根据废水的来源、组成和浓度,适当的产品和处理工艺可能有很大的不同。杜邦公司的不同技术和产品被用来回收废水或废水中的有价值的物质。

反渗透(RO)

反渗透水已被广泛用于减少杂质,然后再循环回UPW的给水或作为公用用水再使用。根据给水特性和客户需求,可以使用杜邦FilmTec™的不同RO产品。FilmTec™ECO系列RO元件适用于污染潜力低、运行成本最低的废水。FilmTec™Fortilife™CR系列反渗透元件适用于污染潜力较高、对渗透质量要求较高的废水。FilmTec™Fortilife™XC系列反渗透元件用于高回收、回收和再利用反渗透系统,用于处理TDS浓度为70000 - 80000 ppm的反渗透盐水。这些元件适用于高结垢、高矿化度、高可靠性和高清洗频率的作业。

离子交换树脂、UF、MBR、脱气膜

还采用离子交换树脂、超滤和膜脱气技术来回用水和/或回收废水中的资源。以下是一些例子:

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  • 预处理 +

    保护整个净化线

    在初级生产线之前去除硬度或大颗粒,如悬浮固体和胶体,是保证下游脱矿处理最佳性能的关键步骤。

    与超滤预处理

    与多媒体滤波器(MMF)相比,杜邦公司超滤(UF)技术在去除悬浮固体、胶体和藻类方面表现出色,可以更好地保护下游RO系统,提高稳定性和生产率。现在,随着杜邦™IntegraFlux™、inge®和MEMCOR®技术能力的增强,杜邦拥有最广泛的UF产品,从内到外,从PES到PVDF,从压力UF到淹没UF。根据给水水质和客户需求,杜邦可以提供最合适的高稳定性、低能耗、低化学消耗的UF产品。

    用离子交换树脂软化

    杜邦的软化离子交换树脂(IER)消除硬度痕迹,保护和提高反渗透装置的回收率。杜邦公司有强酸性阳离子交换树脂和弱酸性阳离子交换树脂,可用于软化。

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  • 主回路去矿化作用 +

    去除溶解的杂质,达到超纯水水质

    自20世纪90年代以来,离子交换树脂(IER)脱矿技术在半导体工厂中已经非常普遍。杜邦公司选择并开发了一系列特殊的ier,可在反渗透(RO)装置前立即提供高质量的水。

    杜邦Ligasep™脱气膜能有效去除CO2从水。与传统脱气塔相比,杜邦Ligasep™具有更高的去除率、更小的占地面积和更高的清洁度。

    杜邦FilmTec™是薄膜复合反渗透技术的发明者,这是现代反渗透技术的核心。FilmTec™RO以其一贯的高质量和稳健的投资组合而闻名,这为整个生命周期创造了更低的成本。杜邦公司开发了定制的半导体级RO (SG),具有较高的低分子有机物截除率和加速总有机碳(TOC)冲洗。

    FilmTec™ECO系列RO元件具有领先的性能和较低的能耗。FilmTec™Fortilife™CR100反渗透元件具有领先的污垢阻力和可靠的性能,在给水下具有更高的污垢潜力。

    反渗透装置完成后,混合床脱矿立即产生超纯水质量。杜邦AmberTec™UP树脂效率和高性能评级已被半导体行业认可超过25年。

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  • 抛光循环 +

    消除痕量污染物最高的超纯水质量

    微电子的制造工艺对UPW质量有严格的要求,包括电阻率、金属、TOC、硼、溶解氧、粒子等。

    最后抛光混合床树脂

    为了达到更高的电阻率、金属和TOC要求,选择合适的最终抛光混合床树脂非常重要。杜邦AmberTec™最终抛光混合床(MB)树脂因其稳定可靠的性能而得到广泛认可。一般来说,根据不同行业的UPW质量和实践要求,可以使用杜邦的以下最终抛光MB树脂:

    硼选择性树脂AmberTec™

    当原料水中硼浓度较高或生产工艺对硼有严格要求时,需要使用除硼树脂。杜邦公司研发了定制半导体级硼选择性树脂AmberTec™UP7530TOC低,工作能力强,粒度均匀,可用于超细抛光回路。

    脱气膜

    在超超临界水除氧中,脱气膜被广泛应用。独特的皮肤半致密和真正的气体渗透膜杜邦Ligasep™脱气模块简化系统设计,实现更好的性能。

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  • 回收循环 +

    最大化废水的价值

    微电子工业消耗大量的水。为了节约用水和实现可持续的业务发展,该行业一直热衷于回收各种制造过程产生的废水。根据废水的来源、组成和浓度,适当的产品和处理工艺可能有很大的不同。杜邦公司的不同技术和产品被用来回收废水或废水中的有价值的物质。

    反渗透(RO)

    反渗透水已被广泛用于减少杂质,然后再循环回UPW的给水或作为公用用水再使用。根据给水特性和客户需求,可以使用杜邦FilmTec™的不同RO产品。FilmTec™ECO系列RO元件适用于污染潜力低、运行成本最低的废水。FilmTec™Fortilife™CR系列反渗透元件适用于污染潜力较高、对渗透质量要求较高的废水。FilmTec™Fortilife™XC系列反渗透元件用于高回收、回收和再利用反渗透系统,用于处理TDS浓度为70000 - 80000 ppm的反渗透盐水。这些元件适用于高结垢、高矿化度、高可靠性和高清洗频率的作业。

    离子交换树脂、UF、MBR、脱气膜

    还采用离子交换树脂、超滤和膜脱气技术来回用水和/或回收废水中的资源。以下是一些例子:

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